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| ?? | OMQ100C | OMQ120C | OMQ100D |
| ?? ????(mm) | 82×55 | 120×80 | 82×55/20×13 |
| Z? ?? | ???? | ???? | ???? |
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| ??? ??(??) | 2000? | 2000? | ?? 2000? |
| ?? ???(μm) | ±(2.5+L/50) | ±(2.5+L/50) | ±(2.5+L/50) |
| ±(1.5+L/50) | |||
| ???(μm) | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 |
| ±1.0 | |||
| ?? ?? | 256?? ????? ?? ?? ??? ??: ?? ?? ?? ?? ??: ??? ? ?? | ||
| ??? ?? | ?? ?? ?? ??? ?? ??, 256 ??? ??, 20:1 ???? ?? ?? | ||
| ????? | ???-?? | ||
| ?? ?? ??(mm) | 0.00001 | ||
| Z? ????(mm) | 45 | ||
| Z? ????(mm) | 145 | ||
| ??(mm) | 260×450×660 | 280×480×680 | 260×480×800 |
| ??(????) | 28 | 45 | 35 |
| ?? ?? ??(????) | 5 | ||
| ?? ?? | ?? : 220V/50Hz ?? : <0.002mm/s, <15Hz ?? : 22℃±5℃ ?? : 20~80% | ||
| ?? ?? | 1. ?? ?? ? ????? ??? ??? ??? ? ????.??? 2. ?? ?? ??? ?? ???? 3. ?? ?? ?? ?? | ||
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